0,5 мм); сканирование зонда по поверхности образца; преобразование
полученного трёхмерного оцифрованного массива данных в пространственное изображение
поверхности (рис. 6) и его математическую обработку. | Предыдущий раздел | Раздел верхнего уровня |
Программное обеспечение микроскопа
СММ-2000Т позволяет осуществить: автоматический подвод зонда к поверхности образца
до захвата туннельного тока (после ручного подвода на расстояние 0,5 мм); сканирование зонда по поверхности образца; преобразование
полученного трёхмерного оцифрованного массива данных в пространственное изображение
поверхности (рис. 6) и его математическую обработку.
Программное обеспечение даёт возможность представлять полученное изображение в двумерном виде, когда высоты рельефа поверхности образца отображаются 64 градациями цвета – от нулевой (обычно максимально тёмного цвета) до 63-й (обычно максимально светлого). Нулевой градации соответствует нижняя высота рельефа поверхности (впадина). Имеется возможность создания палитры различных цветов.
В программном обеспечении СММ-2000Т есть возможность вывода результатов и в трёхмерном виде с учётом освещения поверхности скана одним виртуальным (мнимым, созданным программным обеспечением) источником света с тенями, отходящими от бугорков и находящимися в ямках её рельефа.
Трёхмерное изображение скана можно поворачивать на различные углы относительно двух осей, при этом меняя высоту и угол освещения виртуального источника света.
Программное обеспечение позволяет на двумерном изображении поверхности производить метрологические измерения рельефа поверхности по высоте в любом направлении.
Программное обеспечение реализовано под операционную среду Windows, что обеспечивает возможность дальнейшей обработки информации любыми программами, в том числе графическими и текстовыми редакторами, совместимыми с системой Windows.
Использование компьютера в качестве управляющего, контролирующего, обрабатывающего устройства в технологическом процессе исследований на СТМ позволяет проводить эксперименты на СММ-2000Т в дистанционном режиме, в том числе применять СТМ в дистанционном обучении.
Возможность сохранения изображений поверхности образца в оцифрованном трёхмерном виде и записи на электронный носитель (дискета 3,5") позволяет выводить и обрабатывать изображение на устройствах обработки и вывода, расположенных там, где удобно исследователю.
Рис. 6. Пример информации, выдаваемой после проведения исследований на СТМ: а – двумерное изображение исследованной поверхности с проведённой на нём линией сечения; б – трёхмерное изображение поверхности объекта; в – профилограмма по сечению двумерного изображения; г – окно установки параметров измерения профиля по сечению.
Пример выдаваемой информации приведён на рис. 6: а – двумерное изображение поверхности с проведённой на нём линией сечения (окно Scanner); б – трёхмерное изображение поверхности объекта, где размеры изображения по оси X и Y отложены в микрометрах, по оси Z – в нанометрах (окно 3D-View); в – профилограмма по сечению двумерного изображения, где по горизонтальной оси отложена длина сечения в микрометрах, а по вертикальной - высота неровностей по оси Z в нанометрах (окно Profile); г – окно установки параметров измерения профиля по сечению, где в нижней части в разделе "Measure" между значками < > и < > приведено расстояние между точками профиля, ограниченными двумя вертикальными линиями на профилограмме: по горизонтальной оси (верхнее значение) в микрометрах и по вертикальной оси, оси Z (нижнее значение) – в нанометрах (окно 1D-Setup).