3.5. Области применения рентгеноспектрального микроанализатора

РСМА используется для исследования распределения компонентов и примесей в сталях и сплавах. Отличительной особенностью рентгеноспектрального микроанализа в сравнении с другими методами химического анализа, например, такими как спектральный эмиссионный анализ, лазерный  спектральный анализ, является его высокая локальность. В этой связи применение РСМА оказалось весьма эффективным, а иногда и единственным способом при решении следующих задач:

• качественного и количественного анализа химического состава для идентификации различных фаз и включений;
  
  
• анализа распределения элементов с целью изучения дендритной ликвации, микросегрегаций и т.п.;
  
  
• определения толщины различных покрытий на изделиях, а также исследования диффузионных процессов, например, при химико-термической обработке, спекании порошковых материалов и т.д.

В общем случае РСМА может быть использован для анализа металлов, стекол, керамики, различных композиционных материалов, а также широкого класса органических и биологических образцов.