2.1. Порядок анализа изображения структуры материала (скана)

I. Вызов двумерного скана

1. В окне Scanning включить режим HV (поставить галочку напротив надписи, в появившемся окне Warning нажать кнопку Cancel). Свернуть окно Scanning.
2. Открыть меню Work и выбрать подменю Scan window.
3. Открыть меню File и выбрать подменю Open. Выбрать файл с изображением скана требуемого материала.
4. Для появления изображения скана:
• сделать окно Scanner активным, щёлкнув по нему мышкой;
• нажать клавишу Home.

II. Анализ трёхмерного скана

1. Открыть меню Work и выбрать подменю 3D view.
2. В открывшемся окне 3D view сформировать трёхмерный скан, два раза щёлкнув левой клавишей мыши в центре окна.
3. Изучить структуру скана, меняя ориентацию виртуального "солнышка" (подсветки) (подвести курсор к "солнышку" и, зафиксировав левую или правую клавишу мыши, перемещать "солнышко", после этого два раза щёлкнуть левой клавишей мыши в центре окна) и ориентацию, размер трёхмерного скана (подвести курсор мыши к левому краю скана или к центру и, зафиксировав левую или правую клавишу мыши, перемещать скан или изменять его размер, после этого два раза щёлкнуть левой клавишей мыши в центре окна).

III. Анализ размеров элементов структуры по сечению двумерного скана

1. Оставить на экране только окно Scanner с двумерным изображением анализируемого скана.
2. Открыть меню Work и выбрать подменю Edit.
3. Переместить открывшееся окно Editing tools в правый нижний угол экрана (подвести курсор к полю с названием окна Editing tools и, зафиксировав левую клавишу мыши, переместить окно). Для дальнейшей работы это окно не понадобится.
4. Переместить курсор таким образом, чтобы тянущаяся за ним линия пересекла двумерный скан, и нажать левую клавишу мыши.
5. В открывшемся окне 1D-Setup в строке Buffer size набрать значение "100" (вместо "10"), после чего щелкнуть левой клавишей мыши на меню Set и Start и переместить окно 1D-Setup вправо.
6. В открывшемся окне Profile провести анализ размеров элементов структуры, перемещая вертикальные линии по профилограмме (щелкнуть левой клавишей мыши на значке “ < ” или “ > ” в разделе Measure окна 1D-Setup) и считывая размер элемента структуры между линиями (в нижней части в разделе Measure между значками < > и < > приведено расстояние между точками профиля, ограниченными двумя вертикальными линиями на профилограмме: по горизонтальной оси (верхнее значение) в микрометрах и по вертикальной оси, оси Z (нижнее значение) – в нанометрах (окно 1D-Setup).
7. Для анализа размеров элементов структуры по другому сечению двумерного скана переместить курсор к выбранному началу сечения, зафиксировать левую кнопку мыши и переместить курсор к окончанию сечения, щёлкнуть левой клавишей мыши. В окне Profile появится профилограмма по выбранному сечению скана.