1. Введение

Растровый электронный микроскоп (РЭМ) широко используется в научно-исследовательских лабораториях. По своим техническим возможностям он сочетает в себе качества как светового (СМ), так и просвечивающего электронного (ПЭМ) микроскопов, но является более многофункциональным. В основе РЭМ лежит сканирование поверхности образца электронным зондом и детектирование (распознавание) возникающего при этом широкого спектра излучений. Сигналами для получения изображения в РЭМ служат вторичные, отраженные и поглощённые электроны. Другие эффекты, в частности рентгеновское излучение, используется для получения дополнительной информации о химическом составе материала исследуемого образца (РСМА – рентгеноспектральный микроанализ). Все это определяет методические особенности использования РЭМ и создает целый ряд новых дополнительных аналитических возможностей в области электронной микроскопии. Высокая информативность, простота изготовления объектов для исследования, высокая степень автоматизации количественного анализа изображения и обработки результатов измерений и др. делают РЭМ наиболее универсальным прибором для исследования структуры материалов и топографии поверхности.

По степени распространения и использования РЭМ превзошел просвечивающие электронные микроскопы и близок к СМ. Он применяется в различных областях научной и практической деятельности, например, в металловедении, медицине, химии и др.

Проведение исследований на электронных микроскопах, в том числе и на РЭМ, является довольно дорогостоящей операцией. Ее выполняет специально подготовленный оператор и от разработчика требуется четко сформулированное техническое задание на проведение исследования. Поэтому учебное пособие предусматривает ознакомление учащихся, будущих "потребителей" результатов исследований на РЭМ с устройством и принципом работы микроскопа и микроанализатора, техническими возможностями и программным обеспечением аппаратуры, областями ее использования. Учащиеся должны также знать о специальных требованиях, предъявляемых к объектам для исследования. Они должны уметь определять круг задач, которые наиболее целесообразно решать с использованием РЭМ, обоснованно и квалифицированно составлять техническое задание на проведение соответствующих исследований, расшифровывать и анализировать полученную информацию.

Источники информации

1. Избранные методы исследования в металловедении: Пер. с нем. /Под ред. Г.Й. Унгера. М.: Металлургия, 1985. 408 с.

2. Микроанализ и растровая электронная микроскопия / Под ред. Морис Ф., Мени Л., Тиксье Р. М.: Металлургия, 1985. 392 с.

3. С.С. Горелик, Ю.А. Скаков, Л.Н. Расторгуев. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. М.: МИСиС, 1994. 330 с.

4. The Oxford Guide to Microanalysis, 1997.